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2020年11月22日 星期日

2020露營紀錄

2020露營紀錄

這篇簡單紀錄2020年的露營紀錄,免得久了就忘了露過幾次?和哪些人去?去過哪些營地等?到目前為止,今年共露了8次。

2020年11月14日 星期六

積體電路的天線效應 (Antenna Effect in IC)


這篇文章裡所提到的天線效應(Antenna effect)是在指IC製造過程中,用電漿(Plasma)做乾式蝕刻(Dry etching),所造成的IC可靠度問題。

成因:
在製造金屬層(Interconnection or metal gate)的過程中,暴露在電漿下的金屬層就像天線一樣,會收集電漿所游離的電荷。當金屬層上的電荷太多,造成金屬層連接到的閘極氧化層(Gate oxide)的電場過高時,就會擊穿氧化層造成元件可靠度問題。

只有暴露在電漿下的金屬層會吸收游離電荷,而每個製程步驟完成後,會把晶圓上的電荷放掉(沖洗)。所以傳統的Antenna effect,基本上只有考慮單一層金屬的狀況,不會同時考慮多層金屬累積的電荷。